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Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀是一臺結(jié)合質(zhì)量和能量分析的儀器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等離子過程中陰、陽離子、中性粒子以及自由基。

IMP（Ions Milling Probe）離子蝕刻探針－終點(diǎn)檢測儀是自帶差式泵的耐用的二次離子質(zhì)譜儀，*的專業(yè)檢測終點(diǎn)儀器。用于離子蝕刻控制以及優(yōu)化工藝。適用于離子刻蝕過程中的二次離子和中性粒子分析。

沉積速率監(jiān)測 分子束質(zhì)譜儀采用三級濾過四極桿質(zhì)譜儀，適于分子束和多源分子束研究和MBE監(jiān)測。

ESPion高級朗繆爾探針（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、準(zhǔn)確地進(jìn)行等離子體診斷，是先進(jìn)可靠的Langmuir探針。