薄膜導(dǎo)熱測試儀是一種專門用于測量薄膜材料導(dǎo)熱性能的儀器，它能夠準(zhǔn)確測量薄膜材料的導(dǎo)熱系數(shù)、熱擴(kuò)散系數(shù)等關(guān)鍵參數(shù)，這些參數(shù)對于評估薄膜材料的熱傳導(dǎo)性能非常重要。
 

　　薄膜導(dǎo)熱測試儀的工作原理因測試方法的不同而有所差異。常見的測試方法包括激光閃射法、熱流法和熱反射法(頻域熱反射法或瞬態(tài)熱線源法)。
 

　　1、激光閃射法
 

　　該方法利用激光二極管發(fā)出激光光源，聚焦的光束穿過三維檢腔，當(dāng)光在行進(jìn)中遇到微小顆粒時會發(fā)生散射。通過測量散射光的光通量，可以間接得到薄膜材料的導(dǎo)熱性能。
 

　　2、熱流法
 

　　該方法基于溫差和熱流量之間的對應(yīng)關(guān)系進(jìn)行傳熱系數(shù)的測定。
 

　　3、熱反射法(瞬態(tài)熱線源法)
 

　　該方法使用一根金屬線作為熱線源，同時充當(dāng)加熱元件和溫度傳感器。測試時，通過熱線源施加一個短暫的電流脈沖使其產(chǎn)生熱量，熱量從熱線源沿著樣品傳播導(dǎo)致熱線源冷卻。冷卻速率取決于周圍材料的熱導(dǎo)率，通過分析熱線源的冷卻曲線并利用適當(dāng)?shù)臄?shù)學(xué)模型(如一維徑向熱流模型)，可以確定未知樣品的熱導(dǎo)率。
 

　　C-Therm Trident薄膜導(dǎo)熱測試儀的Flex TPS瞬態(tài)平面熱源法傳感器，可按照ISO 22007-2標(biāo)準(zhǔn)，用于表征薄膜材料的熱傳遞性質(zhì)。Flex TPS專門的薄膜模塊，可測量厚度為20um ~ 1 mm樣品的導(dǎo)熱系數(shù)和熱擴(kuò)散系數(shù)。并且Trident主機(jī)，除TPS方法外，還可與MTPS和TLS傳感器連用，測試更多不同類型的材料。